電源轉換：

通過電源，設備產生高壓，這通常是通過電暈放電發生器來實現的。

臭氧產生：

高壓使空氣中的氧氣分子（Ｏ２）在電極附近發生非平衡狀態下的電離，產生臭氧（Ｏ３）。

這個過程被稱為電離放電，產生的臭氧是淡藍色的氣體。

混合和擴散：

生成的臭氧與空氣混合，臭氧分子能快速與空氣中的其他分子反應，破壞病毒、細菌和真菌的細胞結構，使其失去活性。

空氣凈化：

臭氧在空氣中反應后，會還原成氧氣（Ｏ２），這個過程通常在幾分鐘內完成，不會對人體造成傷害，但對病原體卻有很強的殺滅效果。

過濾和排放：

對于大型的空氣消毒機，可能還配備有ＨＥＰＡ濾網，用來過濾掉部分微粒，包括剩余的微小顆粒和未被臭氧殺死的微小病原體。

自動控制：

一些現代臭氧機可能有智能控制系統，可以根據空氣中的污染程度自動調節臭氧產生量和工作時間。

定期維護：

為了保證消毒效果，需要定期清理濾網和檢查設備，以確保空氣流通和臭氧的生成不受阻。

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